Iwọn otutu aifọwọyi ati iṣakoso ọriniinitutu

Iwọn otutu ati ọriniinitutu ti yara mimọ jẹ ipinnu nipataki ni ibamu si awọn ibeere ilana, ṣugbọn labẹ ipo ti awọn ibeere ilana ti pade, itunu eniyan yẹ ki o gba sinu ero.Pẹlu ilosoke ninu awọn ibeere imototo afẹfẹ, aṣa kan wa pe ilana naa ni awọn ibeere lile ati siwaju sii lori iwọn otutu ati ọriniinitutu.

Bi išedede ẹrọ ti n pọ si ati ti o dara julọ, awọn ibeere fun iwọn iwọn otutu ti n dinku ati kere si.Fun apẹẹrẹ, ninu ilana ifihan lithography ti iṣelọpọ iyika isọpọ titobi nla, iyatọ laarin iwọn imugboroja igbona ti gilasi ati wafer ohun alumọni bi ohun elo diaphragm nilo lati jẹ kere ati kere.Wafer ohun alumọni pẹlu iwọn ila opin ti 100μm yoo fa imugboroja laini ti 0.24μm nigbati iwọn otutu ba dide nipasẹ iwọn 1.Nitorinaa, o gbọdọ ni iwọn otutu igbagbogbo ti awọn iwọn ± 0.1.Ni akoko kanna, iye ọriniinitutu ni gbogbogbo nilo lati jẹ kekere, nitori lẹhin igbati eniyan, ọja naa yoo di aimọ, ni pataki Fun awọn idanileko semikondokito ti o bẹru iṣu soda, iru idanileko mimọ ko yẹ ki o kọja awọn iwọn 25.

Ọriniinitutu ti o pọju nfa awọn iṣoro diẹ sii.Nigbati ọriniinitutu ojulumo ba kọja 55%, condensation yoo waye lori ogiri paipu omi itutu agbaiye.Ti o ba waye ni a konge ẹrọ tabi Circuit, o yoo fa orisirisi ijamba.O rọrun lati ipata nigbati ọriniinitutu ojulumo jẹ 50%.Ni afikun, nigbati ọriniinitutu ba ga ju, eruku ti o wa lori oju ti wafer silikoni yoo jẹ kikẹmika ti awọn ohun elo omi ti o wa ninu afẹfẹ si oju, eyiti o nira lati yọ kuro.Ti o ga ọriniinitutu ojulumo, o nira diẹ sii lati yọ ifaramọ kuro, ṣugbọn nigbati ọriniinitutu ojulumo ba kere ju 30%, awọn patikulu naa tun ni irọrun adsorbed lori dada nitori iṣe ti agbara elekitiroti, ati nọmba nla ti semikondokito. awọn ẹrọ ni o wa prone si didenukole.Iwọn otutu ti o dara julọ fun iṣelọpọ wafer silikoni jẹ 35 ~ 45%.